如(rú)何掌控真空鍍膜的均勻性
作者: 來(lái)源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:1432
如何掌控真空鍍膜的均勻性
我們先(xiān)來(lái)認識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測(cè)試過程中檢(jiǎn)查漏氣情況與各真空泵的性能;
2、測試設備(bèi)的密封性能,就是抽到極限後(hòu)保壓1小時看壓降是否達標(biāo),同時排除細小的漏孔;
3、產品試作,檢驗其他(tā)的性能,比(bǐ)如(rú)傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話就繼(jì)續(xù)打樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄,並有(yǒu)記錄人簽字(zì)以及有使用部門或工程部門的人確認簽(qiān)字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理的不同分為(wéi)很多種類,僅僅因為都(dōu)需要高真空(kōng)度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真(zhēn)空鍍膜,影響均勻(yún)性的因素也不盡相同。並且均勻性這個概念本身也會隨著(zhe)鍍膜尺度和薄膜成(chéng)分而有著不同的意義,下麵分別說一下(xià):
均勻性主(zhǔ)要體現在3方麵:
1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度(dù),在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當(dāng)好,可以輕鬆將(jiāng)粗糙度控製在可見光波長的(de)1/10範(fàn)圍內(nèi),也就是說對於多弧離子鍍(dù)膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上(shàng)的均勻度(dù),也就是說要實現10A甚至1A的表(biǎo)麵平整,是(shì)現在真空鍍膜中主要的(de)技術含量與技術瓶頸所在(zài)。
2、化學組分上的均勻性:就(jiù)是說在薄(báo)膜中,化(huà)合物的原子組(zǔ)分會由於尺度過小而很容易的(de)產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺(jiàn)控濺射鍍膜機過程不科(kē)學,那麽實際表麵的組(zǔ)分並不是SiTiO3,而可能是其(qí)他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化(huà)學成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜(mó)是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技(jì)術中的(de)熱點問題。
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