CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī)
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:68788
CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機的磁控濺射工作原理,所(suǒ)謂(wèi)“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體(tǐ),從而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象(xiàng)。早在(zài)1842年(nián)Grove在(zài)實(shí)驗室中就(jiù)發現了這種現象。磁控濺(jiàn)射靶采用靜止電磁場,磁(cí)場為曲線形,均勻電場和(hé)對數(shù)電場則分別(bié)用於平麵靶和同軸圓柱靶(bǎ)。電子在電(diàn)場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並(bìng)產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用(yòng)下,加速飛向陰極(jí)(濺射靶)並以高能量(liàng)轟擊靶表(biǎo)麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家(jiā)電電器、鍾表、高(gāo)爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷(cí)、磁磚等表麵裝飾(shì)性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜(mó)、純金裝飾膜、導電膜等領域有優(yōu)勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的(de)薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚(hòu)度均勻(yún)的膜層;
2)、薄膜與基片的附著(zhe)力強(qiáng)。部分(fèn)高能(néng)量的濺射原(yuán)子產生不同程度的注入現象(xiàng),在基片上形成一(yī)層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備(bèi)特殊材料的(de)薄(báo)膜,可以使用不(bú)同的材料同時濺射製備混合膜、化合(hé)膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層(céng)純度高,濺(jiàn)射膜層(céng)中不會(huì)混入(rù)坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝(zhuāng)備低溫離(lí)子輔助源,無需加熱直接(jiē)常(cháng)溫冷鍍成(chéng)膜,節能省電(diàn),提高(gāo)產能。
CJ係列(liè)磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型(xíng)號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機(jī)組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機(jī)組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源、鍍(dù)膜輔助離子專用(yòng)電源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) |
控製方式(shì) | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動(dòng) | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或(huò)全自(zì)動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以(yǐ)上設備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實(shí)際(jì)工藝(yì)要求設計訂做 |