SF係列電子束蒸發(fā)光學真空鍍膜(mó)機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:23181
SF係列電子束蒸發光學真空鍍(dù)膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接(jiē)利用(yòng)電子束加熱,使膜(mó)材中的原子或(huò)分子從(cóng)表麵汽化逸出後入射到(dào)基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比(bǐ)一般電阻加熱蒸發(fā)熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範(fàn)圍

光學鍍膜設備可(kě)鍍製(zhì)層數較多(duō)的(de)短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜(mó)的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼(yǎn)鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產(chǎn)品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電(diàn)子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬(shǔ)、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配(pèi)備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現(xiàn)對整個工作(zuò)過程的自動控製,工作效率和產品質量重複性一致性優良.
2)適用於光(guāng)學(xué)領域行(háng)業,大規模工業生產要(yào)求的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光(guāng)學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺(chǐ)寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機(jī)組雙KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組(zǔ)KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組(zǔ)
鍍(dù)膜係統電子(zǐ)槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾(ěr)離子源
充氣係(xì)統壓強控製儀
控(kòng)製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以(yǐ)上設(shè)備參數僅(jǐn)做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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