GSF係(xì)列高精密電子(zǐ)束蒸發光學真空鍍(dù)膜機
日期(qī):2016-01-13 10:18:51 人氣:24335
GSF高精密電子束蒸發(fā)光(guāng)學真(zhēn)空鍍膜機的工作原理是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電(diàn)子(zǐ)束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸(yì)出(chū)後入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比(bǐ)一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密(mì)度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。
光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射(shè)膜等各種膜係,能夠實現0-90層膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽車(chē)反光玻璃、望遠鏡、眼鏡片(piàn)、光學鏡頭、冷光杯(bēi)等產品(pǐn)的鍍膜(mó)要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離(lí)子源及膜厚(hòu)儀(yí)可鍍(dù)多種膜係,對(duì)金(jīn)屬、氧化物、化合物(wù)及其他高熔點膜材皆(jiē)可蒸鍍。
1)、高精密光學鍍膜機配備有石(shí)英晶體(tǐ)膜厚儀、光學膜厚自動控製(zhì)係統,采用PLC與工業電腦配(pèi)合自主研發的PY3100係統(tǒng)聯合實現對整個工(gōng)作過程的全自動控製,可以實現無人值守,從而提高(gāo)了工作效率和保證(zhèng)產品質量的一(yī)致性和(hé)穩定(dìng)性。
2)、大抽速真空係統加配深冷裝置,優秀的動態真空能力,為複雜(zá)的光學(xué)膜係(xì)製備提供了(le)必要的真空條件保(bǎo)障。
3)、蒸發(fā)分布穩定、性(xìng)能可靠的E型電子槍,優化設計的蒸發源與工件架之間的位置關(guān)係,為精密膜係的實現調工了膜料蒸發(fā)分布方麵的保障。
4)、平穩(wěn)而高速旋轉的工件架轉動(dòng)係統(tǒng),使工件架內(nèi)外圈產品光譜曲線更趨於一致。
5)、適用於光學領(lǐng)域行業,大規(guī)模工業生產高端要求的廠商使用。
GSF高精密電子束蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機 |
型號 | GSF-800 | GSF-1200 | GSF-1400 | GSF-1600 | GSFW-1000 | GSFW-1200 | GSFW-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵(bèng)機(jī)組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電子槍(qiāng)蒸發源、鍍膜輔(fǔ)助離子專用(yòng)電源或霍爾離子源 |
充氣係統 | 壓(yā)強控製儀 |
控製方(fāng)式 | 半自動或全自(zì)動 |
膜厚(hòu)監控係統 | 石英(yīng)晶體膜厚監控(kòng)係統、光學膜厚監(jiān)控(kòng)係統 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |