CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:68789

CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射(shè)工(gōng)作原(yuán)理,所謂(wèi)“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟(hōng)擊物體,從而(ér)引起物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗(yàn)室中就(jiù)發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為(wéi)曲線(xiàn)形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向(xiàng)基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有(yǒu)足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產(chǎn)生電子,電子飛(fēi)向基片,Ar+在電場作用(yòng)下(xià),加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射(shè)。 

應用範圍

廣泛應用於家電(diàn)電器、鍾(zhōng)表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼(ké)以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工(gōng)模具的功能塗層,在鍍製超黑(hēi)膜、純金裝飾膜、導電膜等領域(yù)有(yǒu)優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預(yù)定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表(biǎo)麵上獲得厚(hòu)度均勻的膜層(céng);
2)、薄膜與(yǔ)基片的附(fù)著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射原(yuán)子(zǐ)與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可(kě)以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜(mó);
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混(hún)入(rù)坩鍋(guō)加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫(wēn)離子(zǐ)輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提(tí)高(gāo)產能。

技術參數表

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機組KT630擴(kuò)散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機(jī)組
鍍膜係統直流或中頻電源、鍍膜輔助離(lí)子(zǐ)專用電源(yuán)
充氣係統質量流量計質量流量(liàng)計質量流量計質量流量(liàng)計質量流量計質量流量計質(zhì)量流量計
控製方式手動或全自動手(shǒu)動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動(dòng)或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備(bèi)參數僅做參(cān)考,具體均按(àn)客戶實際(jì)工藝要求設計訂做
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