工作原理
WJZ係列無介質獨立(lì)膜電阻蒸發真空鍍膜機的原理(lǐ)是(shì)在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發(fā)技術將材料汽化,汽化後的金屬分子(zǐ)產生飛逸沉積於基材的表麵上(shàng)形成鋁(lǚ)、錫(xī)等純金屬薄膜層,出爐後將膜層從特別的基材(cái)表麵可輕輕剝落,形成無介(jiè)質獨立性的厚度為(wéi)2-3μm,具有一定彈性、能(néng)夠隔(gé)離氣體和光線的薄膜。
應用範(fàn)圍
產品特(tè)點
技術參數表
WJZ係列無介質獨立膜電(diàn)阻蒸發真空鍍膜(mó)機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組 | KT300擴散泵機組 | KT400擴散泵(bèng)機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散(sàn)泵機組 |
鍍膜係統 | 電(diàn)阻蒸發源+圓(yuán)柱磁控多弧(可選配) | ||||||
鍍膜輔助係統 | 低溫離子鍍膜(mó)電源 | ||||||
充氣係(xì)統 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) |
控製(zhì)方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實(shí)際工藝要求(qiú)設計訂做 |