真空(kōng)鍍(dù)膜機是(shì)目前製作真空條件應(yīng)用最為廣泛的真(zhēn)空設備,一般用真空(kōng)室、真空機組、電氣控製櫃三(sān)大部分組成(chéng),排氣係統采用擴散泵+機械泵(bèng)+羅茨泵(bèng)+低溫冷阱+polycold組成。
下麵,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理:
1、真(zhēn)空主體:真空腔(qiāng)根據(jù)加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣(yàng),目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼(gāng)材料製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連(lián)接閥,用來連接各抽氣泵浦。
2、輔助抽氣(qì)係統:排氣係統為鍍膜機真空係統的(de)重要部分,主要有由機械泵(bèng)、增壓泵(主(zhǔ)要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排(pái)氣係統采(cǎi)用"擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫(wēn)冷阱+polycold"組成(chéng)。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至(zhì)小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後繼抽真空提供前(qián)提,之後當擴(kuò)散泵抽真空腔的時候(hòu),機械泵又(yòu)配合油擴散泵組成串聯,以這樣(yàng)的方式完成抽氣動作。
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