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現代(dài)真空鍍膜機膜厚的測量及(jí)監控方法

作者: 來源: 日(rì)期:2016-01-12 16:12:17 人氣(qì):96670
    最直接的鍍膜控製方法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅動蒸發源,通過PID控製循環驅動擋板,保持蒸發速率。隻要將儀(yí)器與(yǔ)係統控(kòng)製軟件相連接(jiē),它就可以控製整個的鍍膜過程。但是(QCM)的精確(què)度是有限的,部分原因是由於它監控的是被鍍膜的質量(liàng)而不是(shì)其(qí)光學厚度。
    此外(wài)雖然QCM在較低溫(wēn)度下非常穩定,但溫度較高時,它會變(biàn)得對溫度非(fēi)常敏感。在長(zhǎng)時間的加(jiā)熱過程中,很難阻(zǔ)止傳感器跌(diē)入這個敏感區域,從而對膜(mó)層造成重大誤差(chà)。
    光學監控是高精密鍍膜的的首選監控方式,這是(shì)因為它可以更精確地控製膜層厚度(如果運用得當)。精確度的(de)改進源於很多因素,但最根本(běn)的原因是對光學厚度的監控。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監控係(xì)統,是采用間接測控,結合汪博士開發的先進光學監控軟件,有效(xiào)提高光學(xué)反應對膜厚度變(biàn)化靈敏(mǐn)度的(de)理論和方法來減少終極誤差,提供了反饋或傳輸的選擇模式和大範圍的監測波長。特別適合(hé)於(yú)各種(zhǒng)膜厚的鍍膜監控包括非(fēi)規整膜監控。
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