1)、固定筒3 圓筒形狀、大(dà)直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固(gù)定方式,可保證其(qí)有足夠的強(qiáng)度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件汙染,保證撥動盤15 轉(zhuǎn)動的靈活性。
2)、圓形軸承座2 的設計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承的(de)安裝間距(jù),提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋轉靈活(huó)性(xìng)、位置重複的一致性。
3)、裝載換位機構,通過擴大支承盤16 的直徑,使該機構在平麵方向的有效麵積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有(yǒu)利於光路調整,提(tí)高光學薄膜質量(liàng);比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元,比較片(piàn)采用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一次可放置50~100 片比較片,解決
鍍膜機鍍製多層精密光(guāng)學薄膜,比(bǐ)較(jiào)片數(shù)量(liàng)少影響鍍膜層(céng)數和精度的問題。
4)、定位盤6 與槽型光藕17 的配合(hé),通過(guò)槽型光藕來(lái)感知定位盤上三個均分的120°狹縫(féng),控製電機轉動停止。軸1 旋轉定位重複的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密封饋(kuì)入(rù)機構引入威爾遜密封機(jī)構5,既保證電機9 通過齒輪齧合帶動軸1 的靈活轉動(dòng),又保證真空室對外部的(de)密(mì)封作用。優化設計的真空(kōng)鍍膜機多片式(shì)比較片裝置,其特點:(1)結構(gòu)簡單,強度高,可靠性好;(2)比較片裝載數量大,生產(chǎn)效率提高,可鍍製超多層精密光學薄(báo)膜;(3)比較(jiào)片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控製;(4)維護保養費用低。
通過對真(zhēn)空鍍膜機多片式比較片裝置的(de)優化設計,保證了(le)比較(jiào)片機構(gòu)撥片轉動的靈活性和重(chóng)複的一(yī)致性,解決了比較片有效麵積小(xiǎo),光路調整不方便,光信(xìn)號信噪比差的問題,又解決了比較片裝載數量少的問題,可以使現有的真空鍍(dù)膜機鍍(dù)製光學薄膜的質(zhì)量大大提高,並且30 層以上的光學薄膜得以鍍製完成。實踐證明此比(bǐ)較片結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍膜行業進(jìn)行推廣(guǎng)和實施,