排(pái)氣(qì)係統為鍍膜機真空係統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介(jiè)紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組(zǔ)成。今天(tiān)
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機械泵是應用最廣泛的一種低真(zhēn)空泵,它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空(kōng)腔的體積,使被抽容器內氣體的(de)體積不斷膨(péng)脹從(cóng)而(ér)獲得真空(kōng)。 機械泵有很多種,常用的(de)有滑閥式(此主要應用於(yú)大型設備)、活塞往複式、定片式和旋片式四種類(lèi)型。 機械(xiè)泵常常被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆(bào)炸性和腐蝕性的(de)氣體,機械泵一般被用來抽除永久性的氣體,但是對水氣沒有(yǒu)好的效果,所以它不能抽(chōu)除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定(dìng)子不同心軸(zhóu),象兩(liǎng)個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧,保(bǎo)證了彈片緊緊貼在定(dìng)子(zǐ)的內壁。
它的兩個彈片交替起著兩方麵的作用,一方(fāng)麵從進氣口吸進氣體,另一方麵壓縮已經吸進的氣體,將氣體排出(chū)泵外。轉子每旋轉一周,泵完(wán)成兩次吸氣和(hé)兩次排氣。當(dāng)泵連續順時(shí)針轉動時,旋片泵不(bú)斷的通過進氣口吸入氣體,又從排氣口不斷的排出泵外,實現對容器抽氣的目(mù)的。為了提高泵的極限真空度,均將泵的定子浸在油裏麵這樣,在各處的(de)間隙中及有(yǒu)害空間裏麵經常保持足夠的油,把空隙填滿,所以油一方麵起到了潤(rùn)滑作用,另一方麵又起了密(mì)封和堵塞縫隙及有害空間的作用,防止氣體分子通過各種渠道反流到壓強低的空間去(qù)。
機械泵是從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣(qì)速率,此為設計(jì)與選用機械泵的重要依(yī)據。單級泵可以將容器(qì)從大(dà)氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將(jiāng)容器從(cóng)大氣抽到6.7*10-2帕,甚(shèn)至更高。
抽(chōu)氣速率,是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位(wèi)時間內所能排出氣(qì)體(tǐ)的體積,可以用下公式計算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸氣結束時空腔截麵積,L表示空腔長度,係數(shù)表示轉子每(měi)旋轉一周有兩次排(pái)氣過(guò)程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔(qiāng)內的體積最大,轉速為n。
機械泵排氣(qì)的效果(guǒ)還與電機(jī)的轉速(sù)及皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮(pí)帶比較鬆,電(diàn)機(jī)轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經常保養,點檢,機(jī)械(xiè)泵油的密(mì)封效果也需(xū)要常常點檢,油過少,達不(bú)到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把(bǎ)吸氣孔堵(dǔ)塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。