分析現有光學真空鍍膜機比較片機構在(zài)使(shǐ)用過程中存在的問題。根據現(xiàn)代光學真空鍍膜(mó)機的發(fā)展(zhǎn)趨勢和(hé)實際生產(chǎn)中急需解決的問題,通過多方麵的研究分析,優化設計新一代的鍍膜機比較片結構,解決影響光學薄(báo)膜質量(liàng)和(hé)超多層精密光學薄(báo)膜鍍製的問題,以提高薄膜的監控精度,實現(xiàn)係統的(de)自動控製,提高光學真空鍍膜(mó)機生產效率,降低(dī)生產成本。使現代(dài)光學真空鍍膜機的結構配置及使用效果達到最佳。
從上世紀八十年代以來,全球(qiú)光電科學技術發展與進步迅猛,我國研發(fā)光學真空鍍膜機設備,在引進消化吸收的基礎上,也迅速發展起(qǐ)來。最近(jìn)二十多年(nián),我國逐漸成為全球光學產品(pǐn)的加工基(jī)地,作為光學產(chǎn)品的關鍵工序(xù),也是最後一道工序(xù)-- 鍍膜,要求越(yuè)來越高,真空鍍膜機性(xìng)能和配置也必然要得到加強,提高設備質量、完善設備性能、提高生產(chǎn)效(xiào)率等問題(tí)就顯現出來,這(zhè)就涉及到此類設備的改造、設計研發,要求相關技(jì)術人員去解決。
真空鍍膜機比較片機構就是該類設備的必(bì)不可少的關鍵(jiàn)部件,高端配置的(de)設備對比較片機構要(yào)求越來越高,它對鍍製多膜層的檢(jiǎn)測和生產效率有著重要的不可(kě)替代的作用。
現有真空(kōng)鍍膜機比較片機構(gòu) 國內低(dī)端的真空鍍膜機,從發展之初到近10年左右,大多還沿用的該(gāi)比較(jiào)片(piàn)結構(gòu),如(rú)圖1 所示。此(cǐ)比較片換位機構,通常由6 個獨立的直徑Φ22mm 的(de)比較片組成。該機構主(zhǔ)要由1 個托盤16、三個支撐杆110 及1 個(gè)比較片盤18 組成,三個支撐杆110 對托盤16起(qǐ)固定、支撐的作用,比較片盤18 靠齒輪齧合把(bǎ)運動輸入使之旋轉撥(bō)片(piàn),三者配合就完成撥片換位動作。由於一般的鍍(dù)膜機真空室直徑尺寸都不大,整個機構的直徑(Φ124mm)相比較就(jiù)有些偏大,導致工件盤(pán)上可裝載的鍍製工件麵積比較小,並且該(gāi)機構隻可放置6 個(gè)比較片(piàn)13,直接影響生產效率。
該結構的特點(diǎn)是:結構簡單,加工製造方便,安裝實施方便易行。缺點:該結構直徑麵積比較大,影響裝載工件(jiàn)的數量;比價片放置數量少,降(jiàng)低了(le)生產效率;強度和剛度有限(xiàn),又由(yóu)於該結構完全暴(bào)露在真(zhēn)空室內,真空室內高溫濺射(shè)磨料的(de)影響,使轉動平穩性、靈活性一般,傳動位置重複的一致性誤差較(jiào)大,清洗維護頻繁。
根(gēn)據(jù)現有比較片結(jié)構在使(shǐ)用過程中暴露出(chū)的問題,對(duì)原有通用鍍膜機比較片結構進(jìn)行多次的改進,通過設計可重疊放置比較片存(cún)儲筒,使比較片(piàn)機構直徑(jìng)所占麵積減小,但放置的比(bǐ)較(jiào)片數量增加到20 片左右, 整個機(jī)構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加較小工件鍍膜盤上裝(zhuāng)載工件的數量,提高生產(chǎn)效率,還可以提高薄膜(mó)監控的精度,並降低對硬件係統的要求,容易實現對係統的自動控製。
具體動作實施(shī),改進(jìn)後多片比較片機構(gòu)的轉動,通過連接板23 和連接塊21 固定在真空室頂板(bǎn)上,比較片機構的旋轉(zhuǎn)運動,由旋轉密封軸把運動輸入真(zhēn)空室內(nèi)的(de)大齒輪,帶動小齒輪所在傳動軸24 的轉動,最終實現整個比較片(piàn)機構的轉動。比較片切換比較片時,通過撥盤29 轉動一個工(gōng)位,比較(jiào)片存儲筒219 內落下一個比較片,到達預設的位置,同時,切換的比較片隨著工位轉(zhuǎn)動落在比較片接受筒212 內,每切(qiē)換一次,撥動一個(gè)工位。其中,傳動軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座組成的傳動機構來完成撥盤轉動。
其特(tè)點(diǎn)是:(1)減小比較片機構直徑的麵積(jī),提高裝(zhuāng)載鍍製工件的數量;(2) 增加比較片的數量,提高生產效率,提高薄膜監控的(de)精度(dù),降低對硬件係統的要求,係統容易實現自動控(kòng)製(zhì)。缺點:該比較片結構直徑小而(ér)長(Φ89×370),影響其使用的強度和剛度;由於該結構暴露在高(gāo)溫(wēn)濺射磨料的真空室內,影響其(qí)轉動(dòng)平穩性、靈活性,且轉動位置重複的一致性較差,維護清洗頻繁費工。
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