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真空在鍍(dù)膜工(gōng)業中的(de)應用

作者: 來源: 日期:2016-04-08 15:03:14 人氣:4164

        真空鍍膜技術是真(zhēn)空應用技術的一個重要分支,它已廣泛地應用於光學、電子學、能源開發(fā),理化儀器、建築機械、包裝、民(mín)用製品、表麵科學以(yǐ)及科學研究等領域中。真空鍍膜所采(cǎi)用的方法(fǎ)主要有蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流(liú)沉積鍍以及分子(zǐ)束外延等。此外還有化學(xué)氣相沉積法。如(rú)果從真空鍍膜的目的是為了改變物質表麵的(de)物理、化學性(xìng)能的話,這一技術又是(shì)真空表麵處理技術(shù)中的重要組成部(bù)分,其分類如表(biǎo) 6 所示。現就其(qí)幾個主要應用方麵做一簡單介紹。

        首先在光學方麵,一塊光學玻璃或石英表麵上鍍一層或幾層不同物質(zhì)的薄膜後(hòu),即可成為(wéi)高反射(shè)或無反射(即增透膜)或(huò)者(zhě)作任何預(yù)期比例的反射或透射材料,也可以作成對某種波長的吸收,而對另一種波長的透射的(de)濾色片。高反射膜從大口徑的(de)天文望遠鏡和各種激光器(qì)開始、一直到新型建築物的大窗鍍膜茉莉(lì),都很需要。增透膜則大量用於照相和(hé)各種激光器開(kāi)始、一直(zhí)到新(xīn)型建築物的大窗(chuāng)鍍膜玻璃,都很需要。增透膜則大量用於照相機和電視攝象機的鏡頭上。

        在電子學方麵真空鍍膜更占有極為重要的地位。各種規模的繼承電路。包括存貯器、運算器、告訴邏(luó)輯元件等都要采用導電膜、絕緣膜和保護膜。作為製備電路的掩膜則用到鉻膜。磁(cí)帶、磁盤、半導體激光器,約瑟夫遜器件、電荷耦合(hé)器件( CCD )也都甬道各(gè)種薄膜。

        在顯示器件方麵,錄象磁頭、高密度錄象帶以及平麵顯示裝置的(de)透明導(dǎo)電膜、攝像管(guǎn)光導膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也都是采(cǎi)用真空鍍膜法製備。在元件方麵,在真空中蒸發鎳鉻,鉻或金屬陶瓷可以製造電阻,在塑料上蒸發鋁(lǚ)、一氧化矽、二氧化鈦等可以製造電容器,蒸發硒可以得(dé)到靜電複印機用的硒(xī)鼓、蒸發鈦酸(suān)鋇(bèi)可以製造磁致伸縮的起聲元(yuán)件(jiàn)等等。真空蒸(zhēng)發還可以用(yòng)於製(zhì)造超(chāo)導(dǎo)膜(mó)和慣性約束巨變反應用的微珠鍍層。此外還可以對珠寶、鍾表外殼表麵、紡織品(pǐn)金屬花(huā)紋、金絲銀絲線等(děng)蒸鍍(dù)裝飾用薄膜(mó),以及采用濺射鍍或離子鍍對(duì)刀具(jù)、模具等製造超硬膜。近兩年內所興起的多弧離(lí)子(zǐ)鍍製備鈦金製品,如不鏽鋼薄板、鏡麵板、包柱、扶手、高檔床托架、樓梯欄杆等目前(qián)正在盛行。

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