1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜（mó）程序（xù）以上，應（yīng）清潔工（gōng）作室（shì）一（yī）次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室內壁，( 注意人（rén）體皮（pí）膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目（mù）的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發（fā）生反應，反應後膜層脫落，並釋放（fàng）出氫氣。再用清水清洗真空（kōng）室和用布沾汽油清洗精抽閥內的（de）汙垢。
2、當粗抽泵(滑（huá）閥泵，旋片（piàn）泵（bèng）)連續工作一個月（yuè）(雨季減半)，需更換新油。方法是:擰開放油螺栓，放掉舊油，再（zài）將泵啟動數秒（miǎo），使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量(油視鏡觀（guān）察（chá）)。連續使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使（shǐ）用6個月以上，抽速明顯變慢（màn），或（huò）操作失當，充入大氣，拆去（qù）聯結（jié）水管，卸下電爐盤，將一級噴（pēn）嘴擰出，先用汽（qì）油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗（xǐ）一遍，然後用清水徹底（dǐ）清（qīng）洗幹淨，待水份揮發幹以後，裝（zhuāng）好泵膽，加入新擴散泵油，並（bìng）裝回機體（tǐ），接好（hǎo）水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開（kāi）機前，要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察（chá）擴（kuò）散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查（chá）聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則擴散泵油會燒環，無法進入工作狀態。

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