真空電鍍設備膜厚的不(bú)均勻問(wèn)題
作者: 來源(yuán): 日期:2017-10-25 16:07:52 人氣:4361
無論監控儀精度怎樣,它也隻能控製(zhì)真空室裏單點位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位(wèi)置。如果真空電鍍設備此位置的膜厚不是絕對均勻的,那麽遠離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩(zhào)能消(xiāo)除表現為(wéi)長期的不均勻性,但有些膜厚度(dù)的變化是由蒸發源的不穩(wěn)定或膜材(cái)的不同表現而引起的(de),所以幾乎是不可能消除的,但對真空室的結構(gòu)和蒸發源的恰當選擇可以(yǐ)使(shǐ)這些影響最小化(huà)。
在過去幾年中,越來越多的用戶要求鍍膜係統製造廠(chǎng)家提供高性(xìng)能的(de)小規格(gé)、簡便型光學鍍膜係統,同時,用戶對性能的要求不僅沒有降低,反(fǎn)而有所(suǒ)提高,特別是在(zài)薄膜密度和保證(zhèng)吸(xī)水後光譜變化最小(xiǎo)化等方麵。
現在,係統的(de)平(píng)均尺寸規(guī)格(gé)已經在降低,而應(yīng)用小規格(gé)設備進行光(guāng)學鍍膜的生(shēng)產也(yě)已經轉變成(chéng)為純技術問題。因此,選用現代化光學鍍(dù)膜係統的關鍵取決於對以(yǐ)下因素(sù)的認真(zhēn)考慮:對鍍膜產品的預期(qī)性能,基片的尺寸大小和物理特性以及保證高(gāo)度一致性工藝所必需的所有技術(shù)因素。