對於真空鍍膜機設備(bèi)的分類,到底了解多少?
真空鍍膜機主要指一類需要(yào)在較高(gāo)真空度下進行的鍍膜設備,包括(kuò)真空離(lí)子蒸發鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、
MBE分子束外延(yán)鍍膜機和PLD激(jī)光濺射沉積鍍膜機等很多種。
主要是分成蒸發和濺射兩種。
在真空鍍膜設備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的(de)材料(liào)被成為靶材。
基片與靶(bǎ)材同在真空腔(qiāng)中(zhōng)。
蒸(zhēng)發鍍膜一般是加熱靶材使表麵組分(fèn)以原子團或離子形式被蒸發出來,並且沉降在(zài)基片表麵(miàn),通過成膜過程形成薄膜。
真空鍍膜(mó)機對於濺射類鍍膜,可以簡(jiǎn)單理(lǐ)解(jiě)為利用電子或高能激光轟擊靶(bǎ)材(cái),並使表麵(miàn)組分以原子團或離子形式被濺射出來,
並且最終沉(chén)積在(zài)基片表麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜。爐體(tǐ)可(kě)選擇由(yóu)不鏽鋼、碳鋼或它們的組合(hé)製成的雙層水(shuǐ)冷結構(gòu)。
根據工藝(yì)要求選擇不同規格及類型鍍膜設備,其類型有電阻蒸發真空鍍膜設備、電子(zǐ)束蒸(zhēng)發真空鍍膜(mó)設(shè)備、
磁控濺射真空鍍膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反(fǎn)應濺射真空鍍膜(mó)設備、空心陰極離子鍍(dù)和多弧離子鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉(zhuǎn)方式,用戶(hù)可根據片尺寸及形狀提(tí)出相應要求,轉動的(de)速度範圍(wéi)及轉動(dòng)精(jīng)度:普通(tōng)可調(diào)及變頻調速等。