PVD是物理氣相沉積的縮寫(xiě)。物理(lǐ)氣(qì)相沉積描述了各種真空沉積方法(fǎ),其可廣泛用於在諸如塑料,玻(bō)璃,金屬,陶瓷等的不同基底上生(shēng)產薄膜(mó)和塗層(céng). PVD的特征(zhēng)在於其中材料從(cóng)固態到氣態,然後(hòu)回到(dào)薄膜固態(tài)。最常見(jiàn)的PVD工藝是離子,濺射,電子束和蒸發。 PVD用於(yú)製造(zào)需(xū)要用於機械,光學,化學或電子功能的薄膜的物品。
工業常見PVD塗(tú)層如(rú)Cu,Al,Cr,Au,Ni的純金屬膜,和TiN,TiC,TiCN,TiAlN,ZrN,CrN,CrSiN,ZrTiCN,TiAlCN,ZrC,TiALN,DLC等複合膜。
常見PVD真空鍍膜機:
陰極電弧離子PVD真(zhēn)空鍍膜機:靶材在放電的(de)高功率電弧作用下將其上物質噴射沉積在工件上。
電子束PVD真空鍍(dù)膜機:待沉積的材料,在“高”真空中的電子轟擊中,冷凝沉積在工件上。
蒸發PVD真空鍍膜機:待沉積(jī)的材料,在“高”真空中,通過(guò)電阻加熱,冷凝沉積在工件上。
磁(cí)控濺射PVD真空鍍膜機:發出輝光等(děng)離子體放電(通常通過(guò)磁體定位在“靶”周圍),材料濺射沉積(jī)在工件上。