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什(shí)麽是PVD?

作者: 來源: 日期:2017-10-21 18:09:35 人氣:5843

      

        PVD是物理氣相沉積的縮寫(xiě)。物理(lǐ)氣(qì)相沉積描述了各種真空沉積方法(fǎ),其可廣泛用於在諸如塑料,玻(bō)璃,金屬,陶瓷等的不同基底上生(shēng)產薄膜(mó)和塗層(céng). PVD的特征(zhēng)在於其中材料從(cóng)固態到氣態,然後(hòu)回到(dào)薄膜固態(tài)。最常見(jiàn)的PVD工藝是離子,濺射,電子束和蒸發。 PVD用於(yú)製造(zào)需(xū)要用於機械,光學,化學或電子功能的薄膜的物品。

  工業常見PVD塗(tú)層如(rú)CuAlCrAuNi的純金屬膜,和TiNTiCTiCNTiAlNZrNCrNCrSiNZrTiCNTiAlCNZrCTiALNDLC等複合膜。

常見PVD真空鍍膜機:

陰極電弧離子PVD真(zhēn)空鍍膜機:靶材在放電的(de)高功率電弧作用下將其上物質噴射沉積在工件上。

電子束PVD真空鍍(dù)膜機:待沉積的材料,在“高”真空中的電子轟擊中,冷凝沉積在工件上。

蒸發PVD真空鍍膜機:待沉積(jī)的材料,在“高”真空中,通過(guò)電阻加熱,冷凝沉積在工件上。

磁(cí)控濺射PVD真空鍍膜機:發出輝光等(děng)離子體放電(通常通過(guò)磁體定位在“靶”周圍),材料濺射沉積(jī)在工件上。

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