1. 真空檢漏基本概念 

所謂漏氣是指氣體通過真空係（xì）統上的漏孔或（huò）間隙，從高壓流向低壓側的（de）一種（zhǒng）現象。

主要有以下幾點（diǎn）：

虛（xū）漏.氣密性.漏孔.漏率.最小可檢（jiǎn）漏率（lǜ）.檢漏靈敏度.反應時間.消除時間.漏孔（kǒng）堵（dǔ）塞現（xiàn）象

2. 漏氣的判斷方法 

1）真空泵工作是否良好 

2）真空係統內是否存在嚴（yán）重放氣  

3）真空係統容器壁或間隙處是否（fǒu）漏氣 

4）是否漏氣與放氣現象共（gòng）存

3. 真（zhēn）空檢漏法 

1）可動（dòng）部分：傳動軸及其密封部分 

2）玻璃或陶瓷一類的易損（sǔn）部分

3）波紋管 

4）使用法蘭和墊圈的密封部分 

5）焊接部（bù）分的裂痕處  

4. 真空檢漏技巧 

1）對於正在加工製造過程中的真空（kōng）容器或裝置來（lái）說，最好采用氣泡檢漏法 

2）對（duì）於正（zhèng）在使用過程中的真空容器或裝置來說（shuō），似乎沒有（yǒu）損壞（huài），但現壓強急劇上升時，首先用點著（zhe）的真空規和作為漏液體的酒精或丙酮（tóng），檢查認為容易損壞的地方。  

3）若盡管做（zuò）了上述種種努（nǔ）力還是找不到漏（lòu）孔，則要用罩（zhào）子（zǐ）法或壓強上升法來判（pàn）斷（duàn）是否漏氣